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高纯水的水质标准是什么?

发布日期:2021-03-10 14:02:09浏览量:13

制定高纯水标准中各项指标的主要依据有三个方面:一是微电子工艺对水质的要求;二是制水工艺的发展水平;三是水中杂质监测技术的现状。

我国高纯水的国家标准将电子级水分为五个级别,相应标准为EW-I、EW-Ⅱ、EW-Ⅲ、EW-IV、EW-V,其中EW-I为最高级,它所要求的杂质控制指标如下:电阻率在90%时间内达到18MQ·cm(25℃),其余时间最小值为17MQ·cm(25℃),大于0.5μm的微粒数少于100个/mL,细菌个数最大值1个/mL,总有机碳含量不大于50μg/L,二氧化硅总含量不大于2μg/L,氯、钾、铝、铁、钙的含量均不大于0.5μg/L,而铜、锌含量不大于0.2μg/L。

近年来,随着超大规模集成电路的发展,对水中总有机碳(TOC)及溶解氧(DO)也提出了更为严格的要求,如256M或1G位超大规模集成电路制造中,要求高纯水的溶解氧及总有机碳均小于2μg/L或更低。

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